WF6 terutama digunakan sebagai bahan baku untuk proses deposisi uap kimia (CVD) logam tungsten dalam industri elektronik. WSi2 yang terbuat dari WF6 dapat digunakan sebagai bahan kabel dalam sirkuit terpadu skala besar (LSI), dan juga dapat digunakan sebagai bahan baku untuk elektroda semikonduktor, fluorin, bahan baku untuk agen kimia, katalis polimerisasi, bahan optik, dll.